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氦質譜檢漏儀 無 ZXL-840性能穩定可靠。靈敏度高，操作方便，能夠實現自動調零、自動校準和自動量程切換，能夠滿足最小檢漏率的要求。
更新時間：2025-11-11
氦質譜檢漏儀 無 ZXL-840
氦質譜檢漏儀 無 ZXL-840
設備名稱、數量及型號：
設備名稱：氦質譜檢漏儀；設備數量：1臺；設備型號：ZXL-840
設備功能：
氦質譜檢漏儀：性能穩定可靠。靈敏度高，操作方便，能夠實現自動調零、自動校準和自動量程切換，能夠滿足最小檢漏率的要求。
設備技術規格
設備主要技術參數
序號 | 項目 | 單位 | 參數 |
1 | 最小可檢漏率（吸槍模式） | Pa*m3/s | 5×10-9 |
最小可檢漏率（真空模式） | Pa*m3/s | 5×10-13 | |
2 | 設備測量范圍 | Pa*m3/s | 1×10-3~1×10-13 |
3 | 啟動時間 | min | ≤3 |
4 | 響應時間 | s | ≤0.5 |
5 | 檢漏口的最高壓力 | pa | 1500 |
6 | 機械泵抽速 | m3/h | 16 |
7 | 工作環境 | ℃ | 5~40 |
8 | 外形尺寸 | mm | 600（W）×460（D）×920（H） |
9 | 重量 | kg | 70 |
10 | 電源要求 | 220V，50Hz，單相，10A | |
11 | 相對濕度 | ≤80% | |
12 | 檢漏模式 | 粗檢、精檢、高靈敏度、吸入模式、自動 | |
13 | 檢漏單位可選 | pa·m 3/s、mbar·l/s、atm*cc/s | |
設備配置表
序號 | 名稱 | 型號 | 品牌 | 備注 |
1 | 檢漏儀三口分子泵 | Splitflow80 | 德國普發 | |
2 | 機械泵 | D16C | 德國萊寶 | 產地：天津 |
3 | 內置標準漏孔 | DT-8 | 合肥迪泰 | |
4 | 電磁閥 | - | 日本CKD | |
6 | 放大器 | AD-549 | 美國AD | |
7 | 真空計 | TTR91RN | 德國萊寶 | |
8 | 觸摸屏 | DOP107CV | 臺灣AELTA | 7寸 |
9 | 離子源 | Zaxis-820 | 合肥迪泰 | 振蕩型離子源 |
10 | 噴槍 | PNP-989 | 中國臺灣山耐斯 | / |
11 | 吸槍 | QX-20 | 合肥迪泰 | 3M長 |
主要用途及特性
主要用途
針對氣密性要求精度高的一些機械配件、壓力容器、密封殼體、汽輪機組、化工管道等，檢測設備焊接處、禁錮連接處氣密性是否良好，能否達到設計要求，并準確、及時地找到泄漏點。
特性
l 設備漏率顯示系統的誤差不超過±5%；
l 氣路設計，較低的顆粒物干擾；
l 能夠自保護，防止本體被污染；
l 具有移動式推車，工作噪音、移動噪音較低；
l 具有報警功能。
能實現的技術功能
l 實時監控與檢漏曲線自動記錄功能；
l 音頻報警功能；
l 防氦污染功能；
l 質譜室自動保護功能，防止大氣進入；
l 內置漏孔自動校準功能；
l 數字、條形、趨勢圖顯示方式讀取漏率值功能；
l 氦本地一鍵式自動清零功能；
l 液晶數字顯示功能；
l 多種檢漏模式：粗檢、精檢、高靈敏度、吸入模式；
組成部分
整個設備由以下七部分組成：1）離子源；2）分析器；3）收集器；4）質譜室；5）抽氣系統；6）電氣系統；7）噪聲振動。
離子源
在質譜室內，燈絲通電，把氣體電離成正離子，在電場的作用下，離子聚焦成束形成離子束；乙方設備的離子源應為振蕩型離子源，直線型銥金燈絲，非輪旋型燈絲（容易燒斷）外涂氧化釔，要求離子源壽命長且靈敏度高。
分析器
由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器。在均勻磁場的作用下，不同質荷比的離子束的偏轉半徑不同，調節加速電壓，使氦離子束恰好通過出口縫隙，進而分離出氦離子，以達到收集器。
收集器
由抑制柵、收集極及高阻組成收集器；氦離子達到收集器后，形成離子流并由放大器放大，使其由輸出表和聲音指示反應出來。且能有效降低檢漏儀本身噪音，提高檢漏儀靈敏度。
質譜室
由離子源、分析器、收集器組成質譜室。離子源發射的離子流在分析器中均勻磁場的作用下，不同質荷比的離子按照不同的偏轉半徑發生偏轉，通過調節加速電壓使氦離子束通過出口縫隙到達收集器，形成離子流并由放大器放大，使其由輸出表和聲音指示反應出來。
抽氣系統
機械泵（粗抽，抽到真空1500Pa左右，分子泵啟動），乙方設備提供的機械泵為萊寶D16C，性能可靠；
分子泵（抽絕對真空環境，給質譜室提供真空環境），乙方設備的分子泵應為檢漏儀專用渦輪分子泵，為德國普發三口高真空分子泵，且要求分子泵多口、檢測量程寬,；
電磁閥（可配合不同的電路來實現預期的控制，而控制的精度和靈活性都能夠保證），乙方設備提供的電磁閥要求性能可靠，耐腐蝕，耐水蒸汽和耐過熱水性能；外漏堵絕，內漏易控，使用安全。
壓力指示儀表，壓力指示儀表的誤差應符合制造標準，并應具有在制造廠規定的壓力范圍內從粗抽自動（或手動）切換到檢漏的功能。
電氣系統
l 220V開關電源；
l 主控板（控制板）；
l 質譜室燈絲保護電路。
噪聲振動
設備運行時，整機噪音低于65dB，無明顯振動。
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